XRF測試儀主要由激發(fā)源(X射線管)和探測系統(tǒng)構(gòu)成。

　　其原理就是：X射線管通過產(chǎn)生入射X射線(一次X射線)尤為突出，來激發(fā)被測樣品規定。 受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光)，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性空間載體。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量或者波長高質量。

　　然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量重要組成部分。 元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷流程，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類勃勃生機，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)助力各業。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此提供有力支撐，可以進(jìn)行元素定量分析應用。

　　用X射線照射試樣時，試樣可以被激發(fā)出各種波長的熒光X射線品率，需要把混合的X射線按波長(或能量)分開相貫通，分別測量不同波長(或能量)的X射線的強(qiáng)度，以進(jìn)行定性和定量分析積極影響，為此使用的儀器叫XRF測試儀自動化方案。

　　由于X熒光具有一定波長，同時又有一定能量越來越重要，因此互動講，XRF測試儀有兩種基本類型：波長色散型XRF測試儀和能量色散型XRF測試儀。